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    以反應式離子束濺鍍法製備掺鉺氧化鋅薄膜之特性分析與研究
    • 電子工程系 /99/ 博士
    • 研究生: 廖重期 指導教授: 趙良君
    • 本研究以雙離子槍反應式離子束濺鍍法沉積摻鉺氧化鋅薄膜,藉由控制靶材所照射的離子電流以控制濺擊產率而達到控制鉺摻雜濃度之目的。在本實驗中摻鉺的氧化鋅薄膜可以得到位於近紅外範圍之1.0 (4I11/2 …
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    • 全文公開日期 2013/07/11 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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